Aceasta lucrare prezinta tehnologiile / procesele / procedeele principale specifice pentru fabricatia unor structuri la scara miniaturizata (micro-nano), cu accent pe structurile micromecanice / microelectronice (MEMS) ce se obtin prin procese tehnologice similare cu cele intalnite in fabricatia circuitelor integrate si in industria electronica sau prin intermediul unor tehnologii si procese care sunt aplicabile exclusiv structurilor cu acest ordin de marime (micrometric / submicrometric). Chiar daca accentul se pune pe tehnologiile de fabricatie a structurilor / componentelor micromecanice, se acorda atentie si unor aspecte privind fabricatia componentelor electronice / microelectronice.
Rasfoieste cartea

OPINIA CITITORILOR